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本发明提供一种红外热电堆传感装置，其包括基于衬底形成的热电堆传感器，所述热电堆传感器包括：悬空薄膜，其悬置于所述衬底的空腔之上；多个热电偶，其设置于所述悬空薄膜中，所述热电偶的热端悬置于所述衬底的空腔之上，且所述热电偶的热端位于所述悬空薄膜...
该专利属于美新半导体(无锡)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过美新半导体(无锡)有限公司授权不得商用。

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