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本发明提供一种离面检测陀螺仪,其包括:左框架结构,其位于中心点的左侧,其能够沿Y轴进行谐振运动;右框架结构,其位于中心点的右侧,其能够沿Y轴进行与左框架结构反向的谐振运动;左移动质量块,其位于左框架结构的第一空间内,其通过第一倾斜挠性梁与左...该专利属于美新半导体(天津)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过美新半导体(天津)有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种离面检测陀螺仪,其包括:左框架结构,其位于中心点的左侧,其能够沿Y轴进行谐振运动;右框架结构,其位于中心点的右侧,其能够沿Y轴进行与左框架结构反向的谐振运动;左移动质量块,其位于左框架结构的第一空间内,其通过第一倾斜挠性梁与左...