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本发明公开了一种一体化控制的大型精密装备隔振系统,涉及大型精密装备隔振技术领域,包括隔振组件及承载平台,隔振组件设置于精密装备下方,承载平台为多个,多个承载平台在精密装备内竖向排布,且各个承载平台均由隔振组件支撑。本发明的一体化控制的大型精...该专利属于中国电子工程设计院有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子工程设计院有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种一体化控制的大型精密装备隔振系统,涉及大型精密装备隔振技术领域,包括隔振组件及承载平台,隔振组件设置于精密装备下方,承载平台为多个,多个承载平台在精密装备内竖向排布,且各个承载平台均由隔振组件支撑。本发明的一体化控制的大型精...