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本发明公开了一种低成本真空镀膜用靶，包括由外至内依次套接的靶体管、过渡层和内衬管；靶体管两端设置管接头，可通过管接头与镀膜设备连接；靶体管、过渡层以及内衬管的两端密封连接；内衬管的中空结构形成冷却管路。其中增加了低成本材质作为内衬管，并采用...
该专利属于深圳市千禾盛科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市千禾盛科技有限公司授权不得商用。

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