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用于以高生产率曝光板状工件的设备制造技术
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文档序号:29767517
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本发明所解决的问题在于提供一种用于加工平板工件(6)的新颖选择,其中,仅利用一个加工单元(4)可实现特别高的生产率和改进的精度。根据本发明解决该问题在于可移动工作台系统(2)包括在共用轨道布置(23)上的两个相同的工作台(21、22),共用...
该专利属于激光影像系统有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过激光影像系统有限责任公司授权不得商用。
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