下载用于以高生产率曝光板状工件的设备的技术资料

文档序号:29767517

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明所解决的问题在于提供一种用于加工平板工件(6)的新颖选择,其中,仅利用一个加工单元(4)可实现特别高的生产率和改进的精度。根据本发明解决该问题在于可移动工作台系统(2)包括在共用轨道布置(23)上的两个相同的工作台(21、22),共用...
该专利属于激光影像系统有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过激光影像系统有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。