下载一种屏蔽栅沟槽型MOSFET结构及其制造方法的技术资料

文档序号:29762511

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本发明公开一种屏蔽栅沟槽型MOSFET结构,包括:半导体衬底;外延半导体层,形成在所述半导体衬底之上;阱区,形成在所述外延半导体层之上;源区,形成在所述阱区内部;第一沟槽和第二沟槽,形成在所述外延半导体层、所述源区和所述阱区的内部;以及第二...
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