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一种屏蔽栅沟槽型MOSFET结构及其制造方法技术
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文档序号:29762511
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本发明公开一种屏蔽栅沟槽型MOSFET结构,包括:半导体衬底;外延半导体层,形成在所述半导体衬底之上;阱区,形成在所述外延半导体层之上;源区,形成在所述阱区内部;第一沟槽和第二沟槽,形成在所述外延半导体层、所述源区和所述阱区的内部;以及第二...
该专利属于江苏长晶科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏长晶科技有限公司授权不得商用。
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