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本申请公开了一种退火炉降温速率校准的方法，所述方法包括：在所述第一退火炉中对多个第一晶圆进行加热；将多个所述第一晶圆在所述第一退火炉中在不同的降温时间内分别降温至预设温度；测量多个第一晶圆的表面参数；建立表面参数和所述降温时间的第一对应关系...该专利属于上海新昇半导体科技有限公司;中国科学院上海微系统与信息技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过上海新昇半导体科技有限公司;中国科学院上海微系统与信息技术研究所授权不得商用。