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本发明公开了一种芯棒沉积疏松体成型控制方法，包括以下几个步骤：石英靶棒的安装与校正，将石英靶棒安装在引杆的挂具上，对跳动超过0.3mm的石英靶棒进行旋转并加热，通过特氟龙校正支架进行校正；确定沉积起始点，通过机头驱动装置驱动机头提升石英靶棒...
该专利属于杭州永通智造科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州永通智造科技有限公司授权不得商用。

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