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本申请公开了一种气浮隔振平台。包括:水平设置的台面和设置在所述台面底部的支撑组件;所述支撑组件包括:至少四根竖直设置的支撑柱;所述支撑柱均匀分布;所述支撑柱与所述台面之间设置有重载气浮隔振器;所述支撑柱的底部设置有调节组件,用于调整所述台面...该专利属于微纳光科(廊坊)仪器有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过微纳光科(廊坊)仪器有限公司授权不得商用。
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