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本实用新型涉及清洗设备的技术领域，特别是涉及一种PLASMA自动清洁机构，其便于控制超纯水与piranha化学试剂混合的比例，避免了等离子体过渡清洗或难以清洗完全，提高了装置的清洗效果；包括清洗主体、隔板、气管、三通管、两组储液箱、多组直角...
该专利属于深圳市凯士特科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市凯士特科技有限公司授权不得商用。

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