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一种具备歧管式流体路径的全金刚石微槽道散热器的制备方法，属于高功率器件散热领域。歧管式全金刚石微通道由封装盖板、分流基板、微通道基板和封装底板组成。首先，通过二次形核及动态调节沉积面的CVD制备工艺，制备高品质、无裂纹、金刚石自支撑厚膜；再...
该专利属于北京科技大学;北京科技大学顺德研究生院所有，仅供学习研究参考，未经过北京科技大学;北京科技大学顺德研究生院授权不得商用。

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