下载MPO镜片低应力预处理装置及其应用方法的技术资料

文档序号:29691807

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本发明提供一种MPO镜片低应力预处理装置及其应用方法,该装置包括:基底;固定设置于基底上方的镜片支撑模块,镜片支撑模块包括成对对称排布的多个镜片支撑单元;多个设置于基底上方且位于任意两个镜片支撑单元之间的连接脚置位单元,各连接脚置位单元的内...
该专利属于中国科学院国家天文台所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院国家天文台授权不得商用。

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