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本发明提供了一种N型硅片的吸杂方法和磷吸杂设备，包括在硅片的至少一个表面上形成磷浆层；对形成有磷浆层的硅片进行链式扩散退火，链式扩散退火包括升温阶段、恒温阶段和降温阶段，升温阶段和降温阶段均分别包含具有不小于30℃/mi n的温度骤变度，使...
该专利属于安徽华晟新能源科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽华晟新能源科技有限公司授权不得商用。

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