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本发明涉及一种生物识别封装及其制备方法，通过在第一、第二、第三控制管芯的非有源面分别形成第一、第二、第三凹槽，其中，所述第一凹槽的深度小于第二凹槽的深度，所述第二凹槽的深度小于第三凹槽的深度，进而在所述第一、第二、第三控制管芯上分别形成第一...
该专利属于江苏华昶熠电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏华昶熠电子科技有限公司授权不得商用。

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