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本发明公开了一种基于卷积神经网络的外延层生长状态判断方法及装置，所述判断方法包括：获取外延层不同生长状态下的实时二维图像；基于所述二维图像获取训练样本对预先建立的初始卷积神经网络模型进行训练，以获取卷积神经网络模型；根据所述卷积神经网络模型...
该专利属于埃特曼(北京)半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过埃特曼(北京)半导体技术有限公司授权不得商用。

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