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本发明公开一种低浓度氦气的回收提纯装置，包括回收风机、膜分离器、压缩机、换热器和真空变温吸附装置；所述回收风机的入口连接原料氦气，回收风机的出口与膜分离器的入口连接，膜分离器的出口连接压缩机的入口，压缩机的出口连接换热器，压缩机内的粗氦气经...
该专利属于安徽中科皖能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽中科皖能科技有限公司授权不得商用。

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