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基于微型机电系统的空间安全红外传感器设备和方法技术方案
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文档序号:2965806
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一种监控围绕视场(FOV)的空间体积用于检测包括气体或蒸汽侵入的空间安全设备,并包括微型机电系统(MEMS),它具有用于反射从FOV收集到的红外(IR)能量束的反射镜阵列中的反射镜元件和用于检测被MEMS阵列反射的IR能量并将IR能量转换成...
该专利属于霍尼韦尔国际公司所有,仅供学习研究参考,未经过霍尼韦尔国际公司授权不得商用。
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