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本实用新型公开了一种具有迷宫式密封结构的旋转装置，包括：具有反应腔的反应器、旋转轴、旋转盘、支撑筒、石墨托盘和加热组件，加热组件包括加热器、电极板和电极；密封板，设置在电极板的下端；其中，密封板与旋转盘之间形成第一迷宫密封结构，旋转盘与反应...
该专利属于芯三代半导体科技(苏州)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯三代半导体科技(苏州)有限公司授权不得商用。

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