下载一种晶圆背面磨床的搬运手的技术资料

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本实用新型公开了一种晶圆背面磨床的搬运手,包括固定机构、升降机构、转动机构以及吸盘机构,所述固定机构包括固定板、安装板以及设置在固定板与安装板之间的多个支撑柱,所述升降机构包括升降驱动单元、升降组件以及滑动板,所述升降驱动单元与固定板相连接...
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