下载一种折叠栅氧化镓基场效应晶体管的技术资料

文档序号:29591760

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本发明属于功率半导体技术领域,涉及一种折叠栅氧化镓基场效应晶体管。本发明针对氧化镓材料P型掺杂困难且增强型器件难以兼顾低导通电阻的问题,提出一种兼具高阈值电压和低导通电阻的横向增强型氧化镓场效应晶体管。利用金属与氧化镓的功函数差将鳍型导电沟...
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