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一种折叠栅氧化镓基场效应晶体管制造技术
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文档序号:29591760
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本发明属于功率半导体技术领域,涉及一种折叠栅氧化镓基场效应晶体管。本发明针对氧化镓材料P型掺杂困难且增强型器件难以兼顾低导通电阻的问题,提出一种兼具高阈值电压和低导通电阻的横向增强型氧化镓场效应晶体管。利用金属与氧化镓的功函数差将鳍型导电沟...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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