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本发明提供一种超结MOS器件,从下至上依次包括漏极金属层、重掺杂第二类导电类型半导体漏区、中等掺杂第二类导电类型半导体缓冲层、轻掺杂第二类导电类型半导体柱区、中等掺杂第二类导电类型半导体JFET区、源极金属层;本发明在超结VDMOS器件的基...该专利属于电子科技大学;无锡华润华晶微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学;无锡华润华晶微电子有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种超结MOS器件,从下至上依次包括漏极金属层、重掺杂第二类导电类型半导体漏区、中等掺杂第二类导电类型半导体缓冲层、轻掺杂第二类导电类型半导体柱区、中等掺杂第二类导电类型半导体JFET区、源极金属层;本发明在超结VDMOS器件的基...