下载高电子迁移率晶体管及其制作方法的技术资料

文档序号:29591727

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本发明公开一种高电子迁移率晶体管,包括基底、P型III‑V族化合物层、栅极电极以及含碳层。该P型III‑V族化合物层设置于该基底上,且该栅极电极设置于该P型III‑V族化合物层上。该含碳层设置于该P型III‑V族化合物层下方,作为一扩散阻挡...
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