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本发明涉及一种基于非平衡激光等离子体的氧化镓高效掺杂方法，包括：对氧化镓衬底进行表面预处理；利用脉冲激光沉积工艺，在表面预处理后的氧化镓衬底上生长掺杂氧化镓外延层。本发明的基于非平衡激光等离子体的氧化镓高效掺杂方法，采用脉冲激光沉积工艺，在...
该专利属于西安电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安电子科技大学授权不得商用。

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