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一种图形化生长垂直取向石墨烯的方法技术
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文档序号:29568428
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本发明公开了一种图形化生长垂直取向石墨烯的方法,该方法包括如下步骤:在衬底上光刻出所需要的垂直取向石墨烯的图形;依次沉积氧化物牺牲层和金属牺牲层;通过超声进行剥离,使图形区域的衬底显露出来,而非图形区域被氧化物/金属双牺牲层覆盖;使用等离子...
该专利属于北京工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京工业大学授权不得商用。
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