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本申请实施例提供制备石墨烯的方法、石墨烯薄膜制备装置及石墨烯生产设备。本申请第一方面中制备石墨烯的方法包括以下步骤：预置步骤，将衬底以及含碳靶材放入预制备石墨烯的腔室，且使衬底与碳靶材以预设距离H相对设置；通入气体，向腔室持续通入流量比为R...
该专利属于佛山市兴炬烨科技研究有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过佛山市兴炬烨科技研究有限公司授权不得商用。

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