下载试片级石英灯加热器热流均匀性增强装置及其设计方法的技术资料

文档序号:29532244

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本发明公开了试片级石英灯加热器热流均匀性增强装置,包括:弧型石英灯、导引装夹弧轨、加热器框架、接线板、耐高温隔热工装、试片装夹位;弧型石英灯的瓷头部位安装定位于导引装夹弧轨的孔位上,导引装夹弧轨固定于加热器框架上;弧型石英灯的引出线连接于接...
该专利属于上海航天精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过上海航天精密机械研究所授权不得商用。

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