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本实用新型公开了一种光刻板清洗机用除胶滤网，包括：支撑座，所述支撑座为圆形设置；滤网主体，所述滤网主体位于支撑座的上方，所述滤网主体的底部与支撑座的上方进行固定连接；顶板，所述顶板位于滤网主体的顶部，所述顶板内开设有进料口；刮料结构，所述刮...
该专利属于恩士力半导体无锡有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过恩士力半导体无锡有限公司授权不得商用。

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