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描述了与在对样本对象(111)的光学显微镜检查中使用多像素偏振滤光器(121)相关的技术。通过这种方法，例如，可以进行颗粒分析，例如，特别是用于确定所述样本对象(111)表面的技术清洁度。...
该专利属于卡尔蔡司显微镜有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡尔蔡司显微镜有限责任公司授权不得商用。

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