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本发明提供干燥装置、基板处理装置和基板保持架的干燥方法。干燥装置能够除去在基板保持架的干燥时在干燥槽的内部浮游的颗粒物。本发明的干燥装置(300)具备：干燥槽(320)，其具有壁(322)、用于向壁的内表面供给液体的液体供给口(334)及用...
该专利属于株式会社荏原制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社荏原制作所授权不得商用。

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