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文档序号:29520180

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本发明公开了一种橡胶表面超低摩擦碳基复合薄膜的构筑方法,是将橡胶基底预清洗后先利用高能等离子体进行轰击预处理,实现橡胶表面微纳级清洗及表面活化,再利用高功率微脉冲磁控溅射技术在橡胶基底表面沉积金属碳化物层作为承载层,然后采用磁控共溅射技术在...
该专利属于中国科学院兰州化学物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院兰州化学物理研究所授权不得商用。

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