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本发明公开了一种导电耐磨自润滑碳基薄膜及其制备方法，属于硬质薄膜技术领域。本发明所述制备方法创新地将纳米二维层状结构引入非晶碳基薄膜中，在碳基薄膜优良的耐磨自润滑特性基础上获得优异的导电性能。本发明所述方法采用高功率脉冲磁控溅射技术，通过工...
该专利属于广东省科学院新材料研究所所有，仅供学习研究参考，未经过广东省科学院新材料研究所授权不得商用。

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