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文档序号:2951838

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引导装置和方法。在以非接触的方式将对象物举起以进行测定的装置中,为了将对象物引导至用于测定对象物的适当的位置,在适当的位置显示基于对象物的形状的作为样本的虚像,计算对象物与虚像的位置/姿态/形状之差,在与样本的虚像相同的位置示出所计算出的差...
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