下载一种无尘镀膜的可更换滤吸附垫及其实施方法的技术资料

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本发明公开了一种无尘镀膜的可更换滤吸附垫及其实施方法,属于吸附垫技术领域,包括基材板,基材板的顶面上设有限位组件,限位组件之间形成不小于一组容纳垫体的槽道,垫体放置在槽道内与基材板相接,限位组件外侧连接的锁定组件贯穿垫体,用于垫体固定在基材...
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