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本实用新型提供了一种光栅尺，包括标尺光栅、光栅读头以及清洁组件：光栅读头与标尺光栅相对活动设置，并能够沿标尺光栅的延伸方向进行往复运动；清洁组件沿光栅读头的移动路径，清洁组件设于光栅读头的前侧；清洁组件连接于外部气源，并用于清洁标尺光栅。使...
该专利属于大族激光科技产业集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过大族激光科技产业集团股份有限公司授权不得商用。

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