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本发明涉及激光扫描显微测量装置及方法，激光器的输出光路上布置半反半透镜，半反半透镜的反射光路上依次布置振镜和扫描物镜，透射光路上布置检测模组；激光器发出激光，经半反半透镜入射到振镜中，振镜控制激光二维偏转，经扫描物镜后，聚焦于三维位移台上的...该专利属于苏州德龙激光股份有限公司;江阴德力激光设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州德龙激光股份有限公司;江阴德力激光设备有限公司授权不得商用。