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金属膜上介质周期结构折射率传感器及制备方法技术
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文档序号:29485780
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本发明公开了一种基于金属膜上介质周期结构折射率传感器,传感元件为纳米光子结构,上至下分别为介质柱阵列,氧化铝保护层贵金属反射层,基底;由圆柱体介质柱构成的介质柱阵列呈中心对称的形状,且紧贴氧化铝表面;通过共振峰位置偏移测量折射率。本发明所制...
该专利属于华南师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过华南师范大学授权不得商用。
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