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在数字全息成像系统中，可逐个像素地比较流式全息图，用于全息图生成之后的缺陷检测。具有反馈置信的自动图像匹配、登记和比较方法允许运行实晶片检验、画面匹配细化、旋转晶片校准以及差值图像的登记和比较。...
该专利属于恩莱因公司所有，仅供学习研究参考，未经过恩莱因公司授权不得商用。

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