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本发明公开了一种无阀压电泵及其制作方法，涉及流体机械技术领域。该无阀压电泵包括壳体、弹性盖板、电极组件、电源组件、多个压电薄膜和多个三角板，壳体内部中空且沿长度方向的一侧设置有开口，弹性盖板封堵于开口使壳体形成泵腔，壳体的两端分别设置有入口...
该专利属于上海芯物科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海芯物科技有限公司授权不得商用。

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