温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种耐高温的声表面波传感器叉指电极及其制备方法。现有金属材料叉指电极在高温下容易发生团聚、结块。本发明叉指电极包括衬底、氧化物界面层、复合电极层和氧化物保护层；氧化物界面层置于衬底上，氧化物保护层和多个复合电极层均置于氧化物界面...
该专利属于杭州电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过杭州电子科技大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。