温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供一种硅片加工装置，涉及硅片加工领域。该硅片加工装置，包括机体，所述机体的上表面固定连接有垫板，所述垫板的上表面开设有移动槽，所述垫板的上表面搭接有移动板，所述移动板的下表面固定连接有固定架，所述固定架的底端固定连接有轮轴，所述...
该专利属于浙江旭盛电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江旭盛电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。