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本发明提供了一种用于步进光刻机的机器视觉动态标定系统与方法。所述机器视觉动态标定系统包括高精度的运动定位平台，成像镜头，ＣＣＤ摄像机，图像采集卡，运动控制器以及控制计算机。通过运动控制器驱动运动定位平台按照一定路径运动，获取标记在ＣＣＤ摄像...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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