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本发明提供了一种测量薄膜厚度与折射率的装置和方法，属于光学测量领域。本发明装置包括低相干光源、分光组件、反射镜、样品槽、光谱仪和信号处理单元，从低相干光源发出的光进入分光组件，经分光组件将光分为参考光和样品光。参考光照射在反射镜上；样品光垂...该专利属于苏州中科行智智能科技有限公司;东北大学秦皇岛分校所有，仅供学习研究参考，未经过苏州中科行智智能科技有限公司;东北大学秦皇岛分校授权不得商用。