下载半导体结构及其制备方法的技术资料

文档序号:29420146

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一种半导体结构,包括:衬底和设置在衬底上的外延层。外延层的至少一部分掺杂有金属原子,靠近衬底的外延层的下表面的金属的掺杂浓度高于1×10...
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