下载用于激光散斑减少的超表面的技术资料

文档序号:29418942

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一种装置,当用相干光照射物体时,该装置依赖于图案化超表面来减少散斑。超表面用于增加从由相干源照射而产生的角分集和波长分集中的一个或更多个。...
该专利属于梅特兰兹股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过梅特兰兹股份有限公司授权不得商用。

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