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提供一种静电电容传感器，即使对于可贴于晶圆运送机械手的指状件表面上的薄型的检测部所检测的静电电容，仍可去除由除电装置、驱动源产生的噪声的影响，进行正确的测定。其包括：交流供给源(29)，该交流供给源(29)向检测部(1a)供给交流电压；寄生...
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