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本发明公开了一种柔性CNTs太赫兹超材料传感器，包括自下而上依次贴合设置的聚合物衬底层和碳纳米管薄膜层形成的双层结构，碳纳米管薄膜层上刻蚀有若干周期性的超材料单元结构，超材料单元结构中心开设有矩形槽结构，矩形槽结构在碳纳米管薄膜层上也呈周期...
该专利属于西安理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安理工大学授权不得商用。

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