温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种硅铝化学机械抛光用磨料的制备方法，包括如下步骤：利用水玻璃和铝盐溶液制备硅铝氧化物，在合成过程中保持体系pH值在中性；向上述硅铝氧化物中加入稀硫酸，使部分铝物种迁移到粒子表面，然后再经过陈化，冷却，过滤，得到滤饼；对滤饼进行...
该专利属于广州凌玮科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州凌玮科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。