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一种开放式全金刚石散热结构的制备方法,属于半导体器件散热领域。通过精密机加工以实现钼板的通孔结构。接着对高质量自支撑金刚石厚板进行激光切割而得到与钼板孔形相匹配的金刚石棒,并将其填充至钼板的通孔中。随后对填充金刚石棒的钼板上下表面分别进行金...
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