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一种开放式全金刚石散热结构的制备方法技术
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文档序号:29376210
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一种开放式全金刚石散热结构的制备方法,属于半导体器件散热领域。通过精密机加工以实现钼板的通孔结构。接着对高质量自支撑金刚石厚板进行激光切割而得到与钼板孔形相匹配的金刚石棒,并将其填充至钼板的通孔中。随后对填充金刚石棒的钼板上下表面分别进行金...
该专利属于北京科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京科技大学授权不得商用。
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