下载真空封装装置的技术资料

文档序号:29361397

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本实用新型公开的真空封装装置,涉及量子设备领域,包括腔体、上盖、散热片、抽气管和制冷模组,其中,腔体内部中空,被构造为放置制冷模组,上盖被构造为与所述腔体的上表面固定连接,散热片固定设置于腔体的下表面,形成密封装置,抽气管内部中空且固定设置...
该专利属于国开启科量子技术(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过国开启科量子技术(北京)有限公司授权不得商用。

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