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基于铁电掺杂的PN结存储器件制造技术
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下载基于铁电掺杂的PN结存储器件的技术资料
文档序号:29334195
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本发明公开了一种基于铁电掺杂的PN结存储器件,主要为解决现有PN结存储器件无法实现不同导电类型切换的问题。其自下而上包括衬底(1)、绝缘氧化层(2)和沟道层(3),该沟道层的两侧为阳极(8)和阴极(9),上部左边为阳极极化栅(4),右边为阴...
该专利属于西安电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安电子科技大学授权不得商用。
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